SS101是一款基于RDL First WLP 的Underfifill工艺需求而开发的高稳定性高精度、集晶圆自动上下料功能的喷胶系统。
系统构成
作业流程
特性优点
应用领域
参数型号
GS600SWA晶圆级喷胶机x1台
GS600SWB晶圆级喷胶机x1台
PC101晶圆上下料机x1台
占地空间
WxDxH : 3075x 2200x 2200mm
支持12寸晶圆喷胶。
十级防尘，匹配晶圆级封装环境要求。
高ESD标准，高于IEC、ANSI标准。
在晶圆流转与作业全过程中对温度进行精细管控并自动校正，满足CUF工艺需求的同时，保障产品安全。
全程录像监控，便于产品流转、作业过程观察与问题追溯与分析。
应用领域
特殊工艺参数型号
CUF专用压电喷射系统
胶黏剂保温+压电陶瓷温度闭环控制
规避温度影响导致系统不稳定性
三重低液位报警
电容式检测＋磁性检测＋系统计重
避免缺胶，导致作业不良
真空吸附加热治具
治具整面温差≤±1.5℃，温度实时监测与补偿
避免作业过程中产品温度变化导致作业不良
下压式轨道
真空吸附治具始终保持不动，轨道上下运动
避免真空吸附治具往复运动作业
平面度丢失导致作业不良
平台式上下料系统
入料顺序自动排序，在Plasma时效内完成作业
友好的人机接口设计
视觉系统
具备定位和检测功能
作业前检测跳过来料不良
作业后检测防止产生批量不良
特性优点应用领域
可选配置参数型号|
工作机位作业前后检测，末站专业检测，实现多重防呆。 |
采用连线方式，最大程度减少人工干预。 |
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作业轨/传输轨分离，单台停机不影响整线运行。 |
实时MES系统对接，上传生产状态信息，系统异常状态报警。支持SECS/GEM半导体通讯协议。 |
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百级防尘设计（通过建模与仿真，配置防尘部件及线缆，气体过滤等）。ESD防静电设计（符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20标准) 。防震动（矿物质框架，具有良好吸震性，有效减少高速运动带来的冲击）。 |
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