ウェーハ搬送システム - 自動生産ライン - 常州銘賽ロボット科学技術有限公司

ウェーハ搬送システムEFEM

ウェーハ搬送システムEFEM(Equipment Front End Module)は主に半導体デバイスのウエハの自動ワーク着脱、生産コスト削減、生産効率向上及び、プロセス精度とクリーン度を確保します。このシステムには、ウエハの自動スキャン、自動搬送、自動キャリブレーション機能を備え、また、顧客ニーズに合わせてID Reader（表裏）を搭載することができ、ウエハ寸法、Cassette数、Aligner種類などに合わせてシステムをカスタマイズすることができます。弊社は独創的に集成し、半導体業界の顧客に様々なウエハ搬送自動化システムソリューションの提供に取り組んでいます。

この設備は半導体業界のニーズを満たし、国際半導体通信プロトコルと互換性があり、SECS/GEM通信モジュールに対応、情報化管理要求や無人化システムに対応しています。

システム構成

ウェハフィードシステム（Loadport
ウエハ搬送ロボット（Robot）
ウエハアライナー（Aligner）
読取モジュール（OCR）
ウエハ予熱（Preheat Wafer）

特性メリット

マガジンとマガジン間ウエハのダメージレス自動搬送。

極薄ウエハ用ベルヌーイエフェクター（オプション）。

顧客ニーズに特化したカスタマイズ生産プロセス。

複数/多種類のマガジン及び寸法、様々なウエハの搬送に対する顧客のニーズに応えます。

マガジン自動開蓋機構を搭載。

高効率濾過装置（HEPA規格）を搭載。

ESD対策は国際IEC、ANSI規格に準拠。

半導体関連の自動化プロトコルに対応。

バーコード、QRコード、数字、アルファベットに対応可能なWafer ID用のOCRモジュール（オプション）。

応用事例

全自動ウエハ接着剤塗布システム

本体システム構成

❶ Loadport&Foup ❷ Alignerアライナー ❸ 走査ステーション ❹ 予熱ステーション ❺ 放熱ステーション ❻ 接着剤塗布機 ❼ 接着剤塗布機 ❽ 接着剤塗布機

主体系统构成

実例説明:

このEFEMは主にウエハ接着剤スプレー装置のためにウエハの前処理と搬送を行い、8インチ/12インチ製品と市場の様々な主流接着剤塗布装置と互換性があります。全自動ウエハ搬送、アライメント、予熱、作業加熱、放熱などの機能を備えます。また、国際半導体通信プロトコルと互換性があり、同時にAMHS自動ワーク着脱ロボットインターフェースを装備、情報化管理要求や無人化システムに対応しています。

フリップチップリフロー半田接合設備のクロストークライン

本体システム構成

❶ Loadport&Foup ❷ Aligner+OCR ❸ ロボットアーム搬送モジュール ❹ 搬送レール/span>

10.26 铭赛画册_11

実例説明:

このシステムは、フリップチップリフロー半田接合設備のクロストーク作業に適しており、ウェハ自動ワーク着脱とフリップチップリフロー半田接合作業を一体化しています。全自動ウェハ搬送、アライメント、チップ番号読取、異なる設備間の製品搬送などの機能を実現。また、国際半導体通信プロトコルと互換性があり、同時にAMHS自動着脱ロボットインターフェースを装備、情報化管理要求や無人化システムに対応しています。