8/12インチウエハ接着剤塗布に対応。

クリーン度レベル１０に対応し、ウェハパッケージ環境の要求に適合。

ESD対策は国際IEC、ANSI規格に準拠。

ウエハの流れと作業の全過程で温度を正確に管理し、自動的に校正し、CUFプロセスのニーズを満たすと同時に、製品安全を確保します。

製品の流れ、作業過程の観察と問題点の追跡分析を容易にするために、全過程でビデオ監視を行います。